【新聞】台積電捍衛環安衛 台灣廠區全導入歐盟排氣櫃測試標準

新聞日期:2020-08-31

新聞來源:自由財經

台積電捍衛環安衛，台灣廠區全導入歐盟排氣櫃測試標準（台積電提供）

晶圓代工龍頭廠台積電（2330）積極捍衛工作環境安全衛生，領先國內業界導入「歐盟EN 14175-3局部排氣櫃效能測試標準」，降低化學品操作人員健康風險，全數12吋晶圓廠區都已完成驗證，8吋廠區也持續進行改善並採購合規的排氣櫃，預計於今年底完成作業，同時進一步輔導供應商遵循標準，估明年可協助5家第1階供應商達標。

台積電表示，半導體生產各階段的調配、分析、清潔、測試作業多與化學品使用相關，業界普遍在實驗室及零件清洗室設置排氣櫃，以排除作業過程散逸的化學物質，降低人員危害風險。

為確保排氣櫃有效捕集危害物質，並避免無效的排氣系統運作造成能源耗費，台積電考量職業衛生與能源使用效率，於去年導入優於法令的EN 14175-3測試標準，標準化管理化學性相關的職業衛生暴露風險，領先業界導入歐盟標準，強化員工安全衛生與能源使用效率。

台積電攜手供應商，合力打造安全衛生的半導體供應鏈，實現負責任的採購者角色，台積電導入EN 14175-3測試標準的同時，也於今年7月起將EN 14175-3測試標準納入供應商輔導項目中。以5家業務最相關、可直接適用通過台積電驗證的排氣櫃的第一階供應商為首，台積電提供供應商輔導與生產現場稽核，預計明年，5家供應商將成功達成EN 14175-3測試標準。

台積電舉例，廠牌A排氣櫃拉門半開時，逸散氣體濃度大於0.01ppm，廠牌B排氣櫃排氣效能符合EN 14175-3標準，但產生高度噪音未符合EN 14175-3。職業安全衛生團隊透過檢測實驗，利用可視化氣流，發現廠牌A排氣櫃設計在拉門下緣產生渦流，經調整抽氣風量，已成功使氣體濃度符合測試標準。廠牌Ｂ排氣櫃經進一步檢測發現，發現僅配置1支排氣管，需透過高風速與靜壓補集氣體，因此產生高度噪音，職業安全衛生團隊要求廠商增設1支排氣管，將可成功降低噪音值，避免作業人員噪音危害風險

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